MPS150

参数

• 卡盘尺寸 / Chuck Size : 150 mm
• Chuck Planarity / Chuck Planarity : ±10 um
• 查克-西塔粗旅行 / Chuck Theta Coarse Travel : ±360 Degrees
• Chuck Theta 精细分辨率 / Chuck Theta Fine Resolution : ± 8 Degree
• 卡盘行程范围 / Chuck Travel Range : 155 x 155 mm
• 查克旅行决议 / Chuck Travel Resolution : 5 µm
• 直径 / Diameter : 150 mm
• 材料 / Material : Stainless steel
• 测量类型 / Measurements Type : DC
• 测量类型 / Measurements Type : RF
• 显微镜移动分辨率 / Microscope Travel Resolution : 5 µm
• 显微镜移动范围 / Microsope Movement Range : 50 x 50 mm
• 压盘 Z 运动范围 / Platen Z-Motion Range : 40 mm
• 类型 / Type : Automatic
• 类型 / Type : Manual
• 卡盘至压盘高度 / Chuck To Platen Height : 16 mm
• 真空孔截面 / Vacuum Hole Sections : 22 mm, 42 mm, 66 mm, 88 mm, 110 mm, 132 mm (four holes in center with 2.5 mm x 4.3 mm distance)
• 工作温度 / Operating Temperature : 30 to 300 Degree C

厂家介绍