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C-6
简介：
150 mm RF Probe Station
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参数
- 卡盘尺寸 / Chuck Size : 150 mm
- Chuck Planarity / Chuck Planarity : ±3 µm
- 查克-西塔粗旅行 / Chuck Theta Coarse Travel : ±360 Degrees
- 卡盘行程范围 / Chuck Travel Range : 152.4 x 152.4 mm
- Chuck Z 精确分辨率 / Chuck Z Fine Resolution : 1 µm
- Chuck Z-Motion 系列 / Chuck Z-Motion Range : 4 mm
- 被测设备尺寸范围 / DUT Size Range : 2 to 150 mm
- 材料 / Material : Stainless Steel
- 测量类型 / Measurements Type : DC
- 测量类型 / Measurements Type : RF
- 显微镜眼罩 / Microscope Eye Piece : 20x
- 显微镜放大范围 / Microscope Magnification Range : 20x - 100x
- 显微镜变焦范围 / Microscope Zoom Range : 1x - 5x
- 射频定位器数量 / Number Of RF Positioners : 12 DC or 4 RF 4 DC
- 压盘尺寸 / Platen Dimensions : 250 x 450 mm
- 压盘材料 / Platen Material : Hard Chrome Plated Steel
- 探针台尺寸 / Probe Station Dimensions : 580 x 460 mm (W x D)
- 类型 / Type : Manual
- 重量 / Weight : 40 Kg
- 应用 / Applications : Basic IV/CV, RF, Single Broadband Probing, Photonics
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