WL-210

参数

• 卡盘尺寸 / Chuck Size : 200 mm
• 查克-西塔粗旅行 / Chuck Theta Coarse Travel : ±11 Degree
• Chuck Theta 精细分辨率 / Chuck Theta Fine Resolution : ±0.01 mm
• 卡盘行程范围 / Chuck Travel Range : 205 x 205 mm
• 查克旅行决议 / Chuck Travel Resolution : 1.5 to 14 µm
• 卡盘温度 / Chuck Temperature : -60 to 300 Degree C
• Chuck Z-Motion 系列 / Chuck Z-Motion Range : 2.5 mm
• 频率 / Frequency : Up to 110 GHz
• 当前 / Current : 100 A
• 直径 / Diameter : 203 mm
• 材料 / Material : Nickel Plated Steel
• 测量类型 / Measurements Type : DC
• 测量类型 / Measurements Type : RF
• 显微镜移动分辨率 / Microscope Travel Resolution : 2 µm
• 显微镜移动范围 / Microsope Movement Range : 2 x 2 Inches
• 直流定位器数量 / Number Of DC Positioners : 2x, 4x, 10x
• 射频定位器数量 / Number Of RF Positioners : 4x, 2x
• 连接器 / Connectors : BNC, BNC - Female
• 压盘温度 / Platen Temperature : 15 to 40 Degree C
• 压盘 Z 运动范围 / Platen Z-Motion Range : 38.1 mm
• 探针台尺寸 / Probe Station Dimensions : 580 x 637 x 12.7 mm (L x W x H)
• 类型 / Type : Manual
• 卡盘至压盘高度 / Chuck To Platen Height : 38.1 mm
• 真空孔截面 / Vacuum Hole Sections : 22 mm, 50 mm, 91 mm, 135 mm, 168 mm
• 应用 / Applications : Test & Measurement
• 工作温度 / Operating Temperature : 0 to 300 Degree C

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