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参数
- 卡盘尺寸 / Chuck Size : 150 mm
- Chuck Planarity / Chuck Planarity : ±8 µm
- 查克-西塔粗旅行 / Chuck Theta Coarse Travel : ±4 Degrees
- 卡盘行程范围 / Chuck Travel Range : 155 x 155 mm
- 查克旅行决议 / Chuck Travel Resolution : 0.1 µm
- 材料 / Material : Aluminum
- 材料 / Material : stainless steel
- 测量类型 / Measurements Type : DC
- 测量类型 / Measurements Type : RF
- 显微镜移动分辨率 / Microscope Travel Resolution : 0.5 µm
- 显微镜移动范围 / Microsope Movement Range : 15 mm
- 压盘 Z 运动范围 / Platen Z-Motion Range : 40 mm
- 类型 / Type : Automatic
- 范围提升 / Scope Lift : 0.1 to 0.5 µm
- 电压 / Voltage : 110 to 220 V
- 重量 / Weight : 240 Kg
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